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[实用新型]磁控管冷却水套-CN201020569585.6无效
发明人：马福聚 -专利权人：赵金叶
申请日： 2010-10-21 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： H01J23/00 文献下载
摘要：磁控管冷却水套是用于冷却磁控管的一种零件，在工业领域使用的磁控管需要加强散热，增强散热方法是在磁控管上安装水冷却套提高磁控管散热量，冷却水套需要合理的制造方法和制作工艺，采用U型冷却水道环绕磁控管管芯外圆可提高冷却效果，使磁控管管芯散热均匀，包围磁控管管芯的圆形体采用开口形式可调节冷却面与磁控管管芯接触松紧程度，提高散热效果，制造这种冷却套在制作工艺上采用预先制造好的U形铜管代替型砂砂芯铸造铝磁控管冷却水套，可解决铸造铝件中的铸造砂眼和铸造气孔导致铸件漏水问题，U型冷却水套冷却水环绕了圆柱管芯，冷却效果好，冷却磁控管均匀；与管芯接触的圆柱面采用开口形式，安装方便，安装后采用螺栓紧固不易松动。
磁控管冷却水

[发明专利]一种大功率磁控管微波源共型阳极热控结构及设计方法-CN201910591334.3在审
发明人：黄卡玛;张益;杨阳;朱铧丞;吴丽;卢萍 -专利权人：四川大学
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01J23/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种大功率磁控管微波源共型阳极热控结构及设计方法，包括磁控管、阳极片和水流通路，所述磁控管的内部设置有阳极片，所述阳极片的内部开设有水流通路。该大功率磁控管微波源共型阳极热控结构及设计方法在磁控管体的每个阳极叶片内部构建一种共型结构的水流通路，极大地增加了水流路径与磁控管体内部结构的接触面积，使水流能够更加接近腔体内的各种不规则结构外围。热控效果相比之前的水冷效果增加显著，并通过模型来设计出最优的散热效果的水流通路的形状，实现高效率的散热，进而提高大功率磁控管的输出功率和寿命。
水流通路磁控管大功率磁控管阳极片阳极微波源不规则结构内部设置散热效果输出功率水流路径阳极叶片高效率体内部散热构建水冷体内外围

[实用新型]一种水冷型微波磁控管-CN201420560550.4有效
发明人：王建强;魏雅磊;许培立 -专利权人：天津中盛海天制药有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H01J23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水冷型微波磁控管，由接线部分、上磁铁、微波发生器、冷却水套、下磁铁、安装架及发射端同轴构成，冷却水套所制的水路截面为扁圆形，在与磁控管贴附的冷却水套水路内壁上制有导热槽道。本磁控管针对水冷型冷却水套的结构进行改进，改进了冷却水套的水路结构，提高了冷凝式流量，增大了导热面积，进而提高了磁控管的冷却效果，提高冷却效果，确保微波磁控管的正常运行，延长磁控管的使用寿命。
一种水冷微波磁控管

[发明专利]具有多路输出的医用微波磁控管和微波治疗设备-CN93120909.9无效
发明人：柴玉瑛 -专利权人：柴玉瑛
申请日： 1993-12-18 - 公布日： 2000-10-04 - 主分类号： H01J23/36 文献下载
摘要：具有多路输出的医用微波磁控管和微波治疗设备涉及到磁控管耦合腔及微波治疗设备技术领域。它解决了传统波导输出型磁控管用电缆多路输出问题。应用该医用磁控管制作的微波治疗设备可一机多个辐射器供临床使用。该管是在波导输出型磁控管的输出极上用柱形耦合腔体套住，在该腔体上设有多个电缆输出插座，供腔体内的电耦合器和耦合环把微波能量引出。本发明主要用于医用微波设备领域。
具有输出医用微波磁控管治疗设备

[发明专利]具温差发电的微波炉磁控管-CN201610782363.4在审
发明人：胡广川;王守国 -专利权人：广东格兰仕集团有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：一种具温差发电的微波炉磁控管，包括设置于微波炉上的磁控管本体，所述磁控管本体上设置有把热量转换成电能的温差发电装置。所述温差发电装置包括串联连接的若干对P型半导体电偶和N型半导体电偶，该P型半导体电偶和N型半导体电偶分别引出有导线，且导线的引出端分别连接外围电路和/或外部负载。本发明通过设置温差发电装置于微波炉磁控管上，使磁控管工作发出的热量转化为电能，而且可有效降温。具体是，温差发电装置不仅能部分转移走磁控管自身堆积的热量，因而延长元器件的使用寿命，并且，通过热量转换的电能可以用来给外围电路或外部负载供电，如微波炉上的炉灯、风扇、电控板等，因此也能提高微波炉的能耗比
温差发电微波炉磁控管

[实用新型]具温差发电的微波炉磁控管-CN201621015590.6有效
发明人：胡广川;王守国 -专利权人：广东格兰仕集团有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：一种具温差发电的微波炉磁控管，包括设置于微波炉上的磁控管本体，所述磁控管本体上设置有把热量转换成电能的温差发电装置。所述温差发电装置包括串联连接的若干对P型半导体电偶和N型半导体电偶，该P型半导体电偶和N型半导体电偶分别引出有导线，且导线的引出端分别连接外围电路和/或外部负载。本实用新型通过设置温差发电装置于微波炉磁控管上，使磁控管工作发出的热量转化为电能，而且可有效降温。具体是，温差发电装置不仅能部分转移走磁控管自身堆积的热量，因而延长元器件的使用寿命，并且，通过热量转换的电能可以用来给外围电路或外部负载供电，如微波炉上的炉灯、风扇、电控板等，因此也能提高微波炉的能耗比
温差发电微波炉磁控管

[发明专利]一种同电压一体式双频输出微波炉用磁控管-CN202211531513.6在审
发明人：殷勇;陈良萍;李海龙;王彬;蒙林 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本发明属于涉及真空电子器件中的微波源技术领域，尤其涉及一种同电压一体式双频输出微波炉用磁控管，设有两个频率不同以及大小不同的磁控管、散热结构和磁路结构，两个磁控管共用一个磁路结构，磁控管部份和散热结构设在磁路结构内；散热结构设有左散热片、中间散热片和右散热片三部分，其中左散热片设在一个磁控管外侧并向左延伸，右散热片设在另一个磁控管外侧并向右延伸，两个磁控管通过中间散热片固定连接。本发明中利用同电压一体式双频输出磁控管，两个磁控管的频率分别为2.45GHz和5.8GHz，频率差异大，两个输出之间的互耦合小；且该双频结构采用同一个电压，设计成一体式，结构简单，适用于各种微波炉型，解决了两个磁控管的安置问题以及加热均匀性问题
一种电压体式双频输出微波炉用磁控管

[发明专利]溅射装置及溅射成膜方法-CN200610059588.3有效
发明人：志堂寺荣治;安藤英一;山田朋广;真下尚洋 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2002-02-06 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的溅射装置及溅射成膜方法，是在腔室内设置基板保持架的转盘型溅射装置中，对于形成低折射率膜的应用及形成高折射率膜的应用可分别同时设置常用磁控管及AC磁控管，用AC磁控管成膜达到设计膜厚的90％，然后仅用常用的磁控管成膜
溅射装置方法

[发明专利]溅射装置及溅射成膜方法-CN02804597.1有效
发明人：志堂寺荣治;安藤英一;山田朋广;真下尚洋 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2002-02-06 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的溅射装置及溅射成膜方法，是在腔室内设置基板保持架的转盘型溅射装置中，对于形成低折射率膜的应用及形成高折射率膜的应用可分别同时设置常用磁控管及AC磁控管，用AC磁控管成膜达到设计膜厚的90％，然后仅用常用的磁控管成膜
溅射装置方法

[发明专利]磁控溅射镀膜腔室、镀膜机以及镀膜方法-CN202111316908.X有效
发明人：谭志 -专利权人：武汉中维创发工业研究院有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该磁控溅射镀膜腔室包括镀膜罩，样品台以及多个由外到内分布的磁控管组。其中，各磁控管组中具有偶数个磁控管且第1磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥4，第2磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥2，磁控管包括内磁体和位于内磁体两侧的两个外磁体，内磁体的极性与外磁体的极性相反。第1磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相反，所述第2磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相同。此时第2磁控管组中磁控管的磁力线会向外围延伸，同时被第1磁控管组中磁控管的磁力线束缚，这样可以有效提高等离子体的溅射纵深，进而提高大尺寸基材表面镀层厚度的均匀性。
磁控溅射镀膜以及方法

[发明专利]一种磁控管的起动方法和变频电源-CN202111137886.0在审
发明人：官继红 -专利权人：深圳麦格米特电气股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H05B6/66 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种磁控管的起动方法，所述方法包括：在磁控管预热结束后，调整所述磁控管的阳极电压，以使所述阳极电压变为第一电压，所述第一电压低于所述磁控管的起振阈值电压；等待预设时间后，增大所述磁控管的阳极电压，以使所述阳极电压变为第二电压，所述第二电压高于或等于所述起振阈值电压，所述第二电压用于使所述磁控管起振。本发明提供的磁控管的起动方法，在磁控管预热阶段结束后，调整磁控管阳极电压，使磁控管阳极电压低于磁控管的起振阈值电压，从而使得磁控管阳极电压有机会穿越磁控管的起振阀值电压，保证磁控管能够正常起振以及正常工作
一种磁控管起动方法变频电源

[实用新型]一体化磁控管单元-CN202022437307.1有效
发明人：任昆;苏涛 -专利权人：西安正中装备技术有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01J25/50 文献下载
摘要：本公开提供的一体化磁控管单元，涉及磁控管技术领域。该一体化磁控管单元包括至少一个磁控管、为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置；所述至少一个磁控管、为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置设置成一个整体本公开提供的一种一体化磁控管单元，通过将至少一个为所述至少一个磁控管供电的电源、以及为所述至少一个磁控管降温的冷却装置组成一个整体，在磁控管阵列使时，一旦一个磁控管单元出现故障时，不会影响其他磁控管单元的运行；并且在批量使用时，可以拆下一个磁控管单元单独进行维修，而不影响磁控管阵列的整体运行。
一体化磁控管单元

[发明专利]医用磁控管多路输出微波源及微波治疗机-CN200610015432.5无效
发明人：柴玉瑛;潘慧泉 -专利权人：柴玉瑛
申请日： 2006-08-24 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： H01J23/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用磁控管多路输出微波源及微波治疗机，包括有套装在天线激励输出型磁控管激励器【12】上的多路稳定输出耦合腔体，所述耦合腔内多路电耦合器【13】或磁耦合器【14】与微波输出稳定装置【15】连接，固定安装在耦合腔的侧壁或上盖上，所述多路耦合器从磁控管耦合得微波能经微波稳定装置【15】输出，构成医用磁控管微波源多路输出。本发明能使多路微波输出稳定，并可控制磁控管受外界影响而产生的热漂移，防止微波能的泄漏。
医用磁控管多路输出微波治疗

[发明专利]用于微波炉的磁控管驱动电路板-CN03103806.9无效
发明人：韩龙云;张成德;曹永元;余周勇;韩大成 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2003-02-11 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H05B6/64 文献下载
摘要：一种微波炉，具有能够产生微波的磁控管、为磁控管提供高压电的磁控管驱动电路和容纳所述磁控管和磁控管驱动电路的机械室，所述微波炉包括：单一磁控管驱动电路板，其中所述磁控管和磁控管驱动电路的电子装置安装在单一电路板上其中磁控管驱动电路板通过安装件固定地连接在机械室上。
用于微波炉磁控管驱动电路板

[发明专利]磁控管装置及磁控溅射设备-CN202210467364.5有效
发明人：郭浩;王厚工;李冬冬;佘清;杨玉杰;刘学滨 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请公开一种磁控管装置及磁控溅射设备，磁控管装置用于作用靶材组件而溅射粒子。磁控管装置包括第一磁控管、第二磁控管和第一驱动机构，其中：第一驱动机构与第一磁控管和第二磁控管均相连，第一驱动机构用于驱动第一磁控管和第二磁控管移动而使其中一者靠近靶材组件、且另一者远离靶材组件；在第一磁控管靠近靶材组件的情况下，第一磁控管与靶材组件的环带区域对应布置；在第二磁控管靠近靶材组件的情况下，第二磁控管与靶材组件的中部区域对应布置。
磁控管装置磁控溅射设备

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